Disassembling glancing angle deposited films for high-throughput, single-post growth scaling measurements

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1017/S1431927612001080
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Technologies de sécurité et de rupture
FormatTexte, Article
SujetGLAD; growth; broadening; disassembling; isolating; scaling; single post
Résumé
Date de publication
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
IdentificateurS1431927612001080
Numéro NPARC21268843
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Identificateur de l’enregistrement0a1627c9-1fb4-4df0-929c-02b02de18fa1
Enregistrement créé2013-11-14
Enregistrement modifié2020-04-21
Date de modification :