Synthesis and characterization of fluorinated aminoalkoxide and iminoalkoxide gallium complexes : application in chemical vapor deposition of Ga2O3 thin films

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1021/om034148d
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut Steacie des sciences moléculaires du CNRC
FormatTexte, Article
Résumé
Date de publication
Dans
Langueanglais
Numéro NPARC12327550
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Identificateur de l’enregistrement18dfb978-07e3-43b7-9df0-dae5a8e4e11d
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2020-04-02
Date de modification :