III-V access waveguides using atomic layer deposition

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1117/12.2004310
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada
FormatTexte, Article
ConférenceAdvanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics VI, 5 February 2013 through 6 February 2013, San Francisco, CA
SujetCompound semiconductors; Critical parts; Optically Active; Photonic circuitry; Photonic crystal membranes; Quantum photonics; Selective area epitaxy; Silicon-on-insulators; Atomic layer deposition; Deposition; Quantum chemistry; Refractive index; Technology; Photonics
Résumé
Date de publication
Dans
Série
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC21270618
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Identificateur de l’enregistrement2a2d27b2-5688-4627-8929-55fb6952a2ee
Enregistrement créé2014-02-17
Enregistrement modifié2020-04-22
Date de modification :