Téléchargement | - Voir le manuscrit accepté : Chemical force microscopy for hot-embossing lithography release layer characterization (PDF, 663 Kio)
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DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1039/b600936k |
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Auteur | Rechercher : Cameron, Neil S.1; Rechercher : Ott, Arnaud1; Rechercher : Roberge, Hélène1; Rechercher : Veres, Teodor1 |
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Affiliation | - Conseil national de recherches du Canada. Institut des matériaux industriels du CNRC
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Format | Texte, Article |
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Résumé | We employed variable temperature chemical force microscopy (VT-CFM) using tips silanized with four different hydro- and hydrofluoroalkyl self-assembling monolayers (SAMs) interacting with a thin-film of poly(cyclic olefin), (PCO) to model the hot-embossing stamp-polymer interaction over a temperature range spanning the glass transition of the PCO. |
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Date de publication | 2006-05-17 |
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Dans | |
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Langue | anglais |
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Publications évaluées par des pairs | Oui |
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Numéro du CNRC | NRCC 48855 |
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Numéro NPARC | 15878012 |
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Identificateur de l’enregistrement | 311c6fc2-9859-4cab-b0ba-e6368e69a27a |
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Enregistrement créé | 2010-07-30 |
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Enregistrement modifié | 2020-04-22 |
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