Chemical force microscopy for hot-embossing lithography release layer characterization

Par Conseil national de recherches du Canada

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DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1039/b600936k
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des matériaux industriels du CNRC
FormatTexte, Article
Résumé
Date de publication
Dans
Langueanglais
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Numéro du CNRCNRCC 48855
Numéro NPARC15878012
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Identificateur de l’enregistrement311c6fc2-9859-4cab-b0ba-e6368e69a27a
Enregistrement créé2010-07-30
Enregistrement modifié2020-04-22
Date de modification :