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Influence of laser parameters and material properties on micro drilling with femtosecond laser pulses

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1007/s003390051418
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 2; Rechercher : 2; Rechercher : 2
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC
  2. Conseil national de recherches du Canada. Technologies de sécurité et de rupture
FormatTexte, Article
Résumé
We report experimental results of drilling micro holes in Al, Mo, Ti, Cu, Ag, Au, and brass thin metal foils in air using 60-femtosecond Ti:sapphire laser pulses. The influence of laser parameters and material properties on drilling processes at the sub-10-micron scale has been examined. Comparison of hole drilling using 60-fs pulses with that using 50-ps and 10-ns pulses at an energy fluence of ∼ 15 J/cm2 indicates that a significant amount of melting is present in both ps and ns regimes, whereas with fs pulses, fewer and much smaller droplets from the molten phase are observed.
Date de publication
Dans
  • Applied Physics A: Materials Science and Processing 69, nº 7 (29 décembre 1999) : S367–S371.
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC21276235
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Identificateur de l’enregistrement32501c02-ff0c-41c9-b72d-759167126991
Enregistrement créé2015-09-28
Enregistrement modifié2020-03-20
Date de modification :