Thermal oxidation of periodically aligned silicon square-spirals
Thermal oxidation of periodically aligned silicon square-spirals
DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1016/j.mee.2008.01.050 |
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Affiliation |
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Format | Texte, Article |
Conférence | Micro- and Nano-Engineering 2007 Conference, MNE 2007, 23–27 September 2007, Copenhagen, Denmark |
Résumé | |
Date de publication | 2008 |
Dans | |
Langue | anglais |
Publications évaluées par des pairs | Oui |
Numéro du CNRC | 631 |
Numéro NPARC | 8926462 |
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Identificateur de l’enregistrement | 3a7d9bd9-4f05-48ac-8041-144c4ec2b6fd |
Enregistrement créé | 2009-04-23 |
Enregistrement modifié | 2020-04-15 |
- Date de modification :