Ultrathin Ta2O5 films produced by large-area pulsed laser deposition

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1016/S0040-6090(00)00982-2
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : 2; Rechercher : 2
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC
  2. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Numéro NPARC12744895
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Identificateur de l’enregistrement4e70e3e4-c50a-4b2b-91e4-b23dd8f6d849
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2020-03-26
Date de modification :