Growth of SiGe/Si:B heterostructures on HF-passivated Si(001) using a commercial UHV-CVD reactor

Par Conseil national de recherches du Canada

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Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
  2. Conseil national de recherches du Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Numéro NPARC12329059
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Identificateur de l’enregistrement4e72c207-8aa8-4b6f-a5ef-d9515eebfda0
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2020-03-20
Date de modification :