Design of an optimized grating coupler for thick SOI rib waveguides

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1109/ICO-IP.2011.5953789
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1Identifiant ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4232-9130; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Conférence2011 ICO International Conference on Information Photonics, IP 2011, 18 May 2011 through 20 May 2011, Ottawa, ON
Sujetchip coupling; coupling efficiency; grating couplers; higher-order modes; I-line steppers; optimized designs; rib waveguides; Si wire waveguide; silicon layer; single etch; thick SOI; wafer scale; optimization; photonics; silicon wafers; waveguides
Résumé
Date de publication
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC21271481
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Identificateur de l’enregistrement532e168c-efc6-49e5-8c31-035008236f64
Enregistrement créé2014-03-24
Enregistrement modifié2020-04-21
Date de modification :