In Situ Faraday-Modulated Fast-Nulling Single-Wavelength Ellipsometry of the Growth of Semiconductors, Dielectric and Metal Films

Par Conseil national de recherches du Canada

AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : 2; Rechercher : ; Rechercher : 3
ÉditeurRechercher : Nalwa, H.
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
  2. Conseil national de recherches du Canada. Institut de technologie des procédés chimiques et de l'environnement du CNRC
  3. Conseil national de recherches du Canada. Initiative en génomique et en santé du CNRC
FormatTexte, Chapitre de livre
Maison d’éditionAcademic Press
Dans
Numéro NPARC12346256
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Identificateur de l’enregistrement5f4d609f-1b13-474c-bce7-70654befcc6d
Enregistrement créé2009-09-17
Enregistrement modifié2020-03-03
Date de modification :