Use of a High-Work-Function Ni Electrode to Improve the Stress Reliability of Analog SrTiO3 Metal-Insulator-Metal Capacitors

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1109/LED.2007.900876
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Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Numéro NPARC12744426
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Identificateur de l’enregistrement6e8399bd-89ad-4101-bef5-672b066450da
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2020-05-10
Date de modification :