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Preparation of the Ru-Pt alloyed thin-films by chemical vapor deposition using single source precursor

Par Conseil national de recherches du Canada

AuteurRechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 2; Rechercher : 2; Rechercher : ; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut Steacie des sciences moléculaires du CNRC
  2. Conseil national de recherches du Canada. Institut de technologie des procédés chimiques et de l'environnement du CNRC
FormatTexte, Article
ConférenceThe 5th anniversary event of NSC-NRC Collaborative Research Program, June 24-25, 2002, Taipei, Taiwan
Date de publication
Dans
  • The 5th anniversary event of NSC-NRC Collaborative Research Program: Symposium Proceeding : 58–64.
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC23003925
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Identificateur de l’enregistrement6ea3530b-6033-40bd-8a42-d477517d9bf6
Enregistrement créé2018-08-22
Enregistrement modifié2020-03-30
Date de modification :