Investigation of the contamination at the substrate-epilayer interface for epi-ready substrates

Auteur	Rechercher : Wasilewski, Zbigniew¹; Rechercher : Sproule, G¹; Rechercher : Moisa, Simona¹
Affiliation	Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
Format	Texte, Rapport technique
Date de publication	2004-11
Numéro NPARC	12745799
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Identificateur de l’enregistrement	7ca79f6f-3c2e-4e97-9b98-652c60e122f7
Enregistrement créé	2009-10-28
Enregistrement modifié	2020-03-06