High-kƒnIr/TiTaO/TaN Capacitors Suitable for Analog IC Applications

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1109/LED.2005.851241
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Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Numéro NPARC12744710
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Identificateur de l’enregistrement7d34eae6-33b3-4698-8635-9ca6fb469c14
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2020-04-07
Date de modification :