| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1117/12.2608824 |
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| Auteur | Rechercher : Ilie, Stefan T.; Rechercher : De Paoli, Greta; Rechercher : Flint, Alexander; Rechercher : Dominguez Bucio, Thalia; Rechercher : Ginel-Moreno, Pablo; Rechercher : Sagar, Jaya; Rechercher : Ortega-Monux, Alejandro; Rechercher : Lekkas, Konstantinos; Rechercher : Rutirawut, Teerapat; Rechercher : Mastronardi, Lorenzo; Rechercher : Skandalos, Ilias; Rechercher : Molina Fernández, Iñigo; Rechercher : Kanellos, George T.; Rechercher : Cheben, Pavel1; Rechercher : Smith, Peter G. R.; Rechercher : Gates, James; Rechercher : Gardes, Frederic Y. |
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| Éditeur | Rechercher : He, Sailing; Rechercher : Vivien, Laurent |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches du Canada. Électronique et photonique avancées
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| Format | Texte, Article |
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| Conférence | Smart Photonic and Optoelectronic Integrated Circuits 2022, January 22 - February 28, 2022, San Francisco, United States |
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| Sujet | antennas; waveguides; silicon; refractive index; ultraviolet radiation; optical design; chemical elements; deep ultraviolet; lithography; telecommunications |
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| Résumé | Silicon nitride (SiNx), has been widely regarded as a CMOS photonics enabling material, facilitating the development of low-cost CMOS compatible waveguides and related photonic components. We have previously developed an NH3-free SiN PECVD platform in which its optical properties can be tailored. Here, we report on a new type of surface-emitting nitrogen-rich silicon nitride waveguide with antenna lengths of L < 5 mm. This is achieved by using a technique called small spot direct ultraviolet writing, capable of creating periodic refractive index changes ranging from -0.01 to -0.04. With this arrangement, a weak antenna radiation strength can be achieved, resulting in far-field beam widths < 0.0150, while maintaining a minimum feature size equal to 300 nm, which is compatible with DUV scanner lithography. |
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| Date de publication | 2022-03-05 |
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| Maison d’édition | SPIE |
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| Dans | |
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| Langue | anglais |
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| Publications évaluées par des pairs | Oui |
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| Identificateur de l’enregistrement | 7d4fc573-a94a-46c6-a6f2-99fe76c3fe34 |
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| Enregistrement créé | 2024-02-06 |
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| Enregistrement modifié | 2024-02-06 |
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