Field assisted reactive gas etching of multiple tips observed using FIM

Par Conseil national de recherches du Canada

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DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1016/j.ultramic.2021.113216
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Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Nanotechnologie
FormatTexte, Article
Sujetfield ion microscopy; tungsten tips; field emission; nanotips; single atom tips
Résumé
Date de publication
Maison d’éditionElsevier
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro du CNRCNRC-NANO-87
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Identificateur de l’enregistrement802173cb-33c3-4f76-a997-5cbd6c3fd7dc
Enregistrement créé2021-03-16
Enregistrement modifié2021-03-16
Date de modification :