Methods to recognize the sample position for most precise interferometric length measurements
Methods to recognize the sample position for most precise interferometric length measurements
| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1117/12.555835 |
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| Format | Texte, Article |
| Conférence | Interferometry XII : applications : [proceedings of the] 12th Laser Interferometry Conference, August 4-5, 2004, Denver, Colorado, USA |
| ISSN | 0277-786X |
| ISBN | 0819454702 |
| Langue | anglais |
| Numéro du CNRC | NRC-INMS-746 |
| Numéro NPARC | 8898705 |
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| Identificateur de l’enregistrement | 80c410a8-9df4-47db-9c70-123f74435346 |
| Enregistrement créé | 2009-04-22 |
| Enregistrement modifié | 2020-04-16 |
- Date de modification :