Methods to recognize the sample position for most precise interferometric length measurements

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1117/12.555835
AuteurRechercher : ; Rechercher :
CommanditaireRechercher : SPIE
FormatTexte, Article
ConférenceInterferometry XII : applications : [proceedings of the] 12th Laser Interferometry Conference, August 4-5, 2004, Denver, Colorado, USA
ISSN0277-786X
ISBN0819454702
Langueanglais
Numéro du CNRCNRC-INMS-746
Numéro NPARC8898705
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Identificateur de l’enregistrement80c410a8-9df4-47db-9c70-123f74435346
Enregistrement créé2009-04-22
Enregistrement modifié2020-04-16
Date de modification :