| Auteur | Rechercher : Ni Allen, C.; Rechercher : Poole, Philip1; Rechercher : Barrios, Pedro1; Rechercher : Roth, Daniel1; Rechercher : Marshall, Paul1; Rechercher : Fraser, Jeffrey1; Rechercher : Raymond, S.; Rechercher : Janz, Siegfried1; Rechercher : Fafard, S. |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
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| Format | Texte, Article |
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| Conférence | 11th Canadian Semiconductor Technology Conference, Aug 2003, Ottawa, Canada |
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| Numéro NPARC | 12346554 |
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| Identificateur de l’enregistrement | 8ec8abbe-d647-471f-b030-1bb5d72cfaf8 |
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| Enregistrement créé | 2009-09-17 |
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| Enregistrement modifié | 2020-04-16 |
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