Synthesis of amorphous silicon carbonitride films by pulsed laser deposition

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1016/S0040-6090(01)01673-X
AuteurRechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : 2; Rechercher : ; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
  2. Conseil national de recherches du Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Numéro NPARC12743923
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Identificateur de l’enregistrement9d2e3fd0-565f-4390-9d85-36162be86bfd
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2020-03-30
Date de modification :