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DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1063/1.1569660 |
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Auteur | Rechercher : Yang, Dongfang1; Rechercher : Xue, Lijue1; Rechercher : Devine, R.A.B. |
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Affiliation | - Conseil national de recherches du Canada. Institut des matériaux industriels du CNRC
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Format | Texte, Article |
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Sujet | electrical properties; pulsed laser deposition; pulsed lasers; thin films; dielectric constant |
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Résumé | The electrical properties of pulsed laser deposited Sm2O3 films have been studied. The dielectric constants are 9.6 and 12.8 for samples deposited at 400 and 683 °C, respectively. The presence of substantial densities of mobile positive charge and significant negative charge trapping has been evidenced. The leakage current densities are, typically, 10−4 A cm−2 for electric fields∼0.24 MV cm−1. |
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Date de publication | 2003-05-19 |
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Dans | |
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Langue | anglais |
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Publications évaluées par des pairs | Oui |
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Numéro NPARC | 21272524 |
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Identificateur de l’enregistrement | a749a7d6-bb84-4372-a621-da7f78b7b910 |
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Enregistrement créé | 2014-12-01 |
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Enregistrement modifié | 2021-12-07 |
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