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Increasing the range of unambiguity in step-height measurement using multiple-wavelength interferometry — application to absolute long gauge block measurement

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1364/AO.42.005670
AuteurRechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC
FormatTexte, Article
Résumé
An instrument for step-height measurement by multiple-wavelength interferometry is described. The addition of a 1152-nm wavelength to a multiple-wavelength scheme applying wavelengths of 633, 612, and 543 nm relaxes the tolerance range of the required preliminary measurement to ±140 μm, if the total uncertainty in the fringe fraction measurement can be kept below 2%. For larger fringe fraction measurement uncertainty, numerical simulations show that the integer number of interference orders can still be determined unambiguously if the range in the preliminary knowledge of the length has been correspondingly reduced. The interferometer instrument is described, and experimental data are presented in the context of long gauge block calibration at the National Research Council of Canada.
Date de publication
Dans
  • Applied optics 42, nº October 28 (2003) : 5670–5678.
Langueanglais
Numéro du CNRCNRC-INMS-233
Numéro NPARC8899861
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Identificateur de l’enregistrementa94a8255-b44b-4dce-810d-a9f6dde7b8fd
Enregistrement créé2009-04-22
Enregistrement modifié2020-04-02
Date de modification :