CoTiO3 High-k Dielectrics on HSG for DRAM Applications

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1109/TED.2004.839880
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Numéro NPARC12744740
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Identificateur de l’enregistrementa96770be-fd3e-4f21-b44c-3247354e5259
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2020-04-17
Date de modification :