Characterization of Gd2O3 films deposited on Si100 by e-beam evaporation from pressed-powder targets

Par Conseil national de recherches du Canada

AuteurRechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : 2; Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
  2. Conseil national de recherches du Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC
FormatTexte, Article
Conférence15th Symposium on Low and High Dielctric Constant Mateirals: Materials Science, Processing, and Reliability Issues, May 2000, Toronto
Numéro NPARC12346325
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Identificateur de l’enregistrementaec0d541-acbe-4bc9-aa15-bd06f6befc88
Enregistrement créé2009-09-17
Enregistrement modifié2020-04-16
Date de modification :