| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1117/12.657463 |
|---|
| Auteur | Rechercher : Macintosh, Bruce; Rechercher : Graham, James; Rechercher : Oppenheimer, Ben; Rechercher : Poyneer, Lisa; Rechercher : Sivaramakrishnan, Anand; Rechercher : Véran, Jean-Pierre1 |
|---|
| Éditeur | Rechercher : Olivier, Scot S.; Rechercher : Tadigadapa, Srinivas A.; Rechercher : Henning, Albert K. |
|---|
| Affiliation | - Conseil national de recherches du Canada. Institut Herzberg d'astrophysique du CNRC
|
|---|
| Format | Texte, Article |
|---|
| Conférence | MOEMS-MEMS 2006 Micro and Nanofabrication, January 21-27, 2006, San Jose, California, United States |
|---|
| Date de publication | 2006 |
|---|
| Maison d’édition | SPIE |
|---|
| Dans | |
|---|
| Série | |
|---|
| Langue | anglais |
|---|
| Publications évaluées par des pairs | Oui |
|---|
| Numéro NPARC | 13053561 |
|---|
| Exporter la notice | Exporter en format RIS |
|---|
| Signaler une correction | Signaler une correction (s'ouvre dans un nouvel onglet) |
|---|
| Identificateur de l’enregistrement | b3d2a013-bd82-4da7-90bd-47b42608e181 |
|---|
| Enregistrement créé | 2009-11-25 |
|---|
| Enregistrement modifié | 2020-04-22 |
|---|
