Hole free phase plate imaging of semiconductor devices in 3D

Par Conseil national de recherches du Canada

AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Nanotechnologie
FormatTexte, Allocution
ConférenceNanotesting Symposium (NANOTS2017), November 8–10, 2017, Osaka, Japan
Date de publication
Langueanglais
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Identificateur de l’enregistrementb840c186-a029-4a31-b367-0111c07dd90b
Enregistrement créé2021-08-25
Enregistrement modifié2021-08-25
Date de modification :