| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1109/PN58661.2023.10222993 |
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| Auteur | Rechercher : Naraine, Cameron M.; Rechercher : Hashemi, Batoul; Rechercher : Hoffman, Nicholas A.; Rechercher : Price, Jeffrey S.; Rechercher : Knights, Andrew P.; Rechercher : Emslie, David J. H.; Rechercher : Schmid, Jens H.1; Rechercher : Cheben, Pavel1Identifiant ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4232-9130; Rechercher : Bradley, Jonathan D. B. |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches Canada. Quantique et nanotechnologies
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| Format | Texte, Article |
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| Conférence | 2023 Photonics North (PN), June 12-15, 2023, Montreal, QC, Canada |
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| Sujet | subwavelength gratings; metamaterials; atomic layer deposition; aluminum oxide; silicon nitride; integrated photonics; claddings; atomic layer deposition; rapid prototyping; foundries; gratings |
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| Résumé | We report on subwavelength grating metamaterial waveguides fabricated on a rapid prototyping silicon nitride foundry platform coated in aluminum oxide grown using a post-process atomic layer deposition system. We discuss the design of the metamaterial waveguides and report experimental results for the hybrid waveguide devices. |
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| Date de publication | 2023-06-12 |
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| Maison d’édition | IEEE |
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| Langue | anglais |
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| Publications évaluées par des pairs | Oui |
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| Exporter la notice | Exporter en format RIS |
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| Identificateur de l’enregistrement | bd4d7875-c4fc-4f2b-a546-df64e88e5c7d |
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| Enregistrement créé | 2024-11-05 |
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| Enregistrement modifié | 2024-11-05 |
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