Temperature dependance of the mechanical properties of an RF MEMS switch

Auteur	Rechercher : Grant, Peter¹; Rechercher : Asliturk, E.; Rechercher : Denhoff, Michael¹
Affiliation	Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
Format	Texte, Article
Conférence	Conference Antem 2002, August 2002, St -Hubert, Quebec, Canada
Numéro NPARC	12346782
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Identificateur de l’enregistrement	c4087f81-2b3f-4b3d-9f76-22eac00a189b
Enregistrement créé	2009-09-17
Enregistrement modifié	2020-04-16