DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1002/1521-3862(20020116)8:1<17::AID-CVDE17>3.0.CO;2-3 |
---|
Auteur | Rechercher : Chen, Yao-Lun; Rechercher : Liu, Chao-Shiuan; Rechercher : Chi, Yun; Rechercher : Carty, Arthur J.1; Rechercher : Peng, Shie-Ming; Rechercher : Lee, Gene-Hsiang |
---|
Affiliation | - Conseil national de recherches du Canada. Institut Steacie des sciences moléculaires du CNRC
|
---|
Format | Texte, Article |
---|
Sujet | 1,5-Cyclooctadiene; Aminoalkoxide; Hexafluorodiacetone; Imine; Iridium; Ketoiminate; Nobel metals |
---|
Résumé | The syntheses of three volatile IrI cyclooctadiene precursors is described. The anionic ligand was carefully selected to produce a structure (see Figure) with physical properties suitable for CVD requirements. Films grown using oxygen as carrier gas produced iridium thin films with a purity higher than 98 % and a measured resistivity in the range of 8.4 to 10.2 μΩ cm. |
---|
Date de publication | 2002-01-01 |
---|
Dans | |
---|
Langue | anglais |
---|
Numéro NPARC | 12329219 |
---|
Exporter la notice | Exporter en format RIS |
---|
Signaler une correction | Signaler une correction (s'ouvre dans un nouvel onglet) |
---|
Identificateur de l’enregistrement | c738aca7-bdf4-453d-981c-fb7c9965bef6 |
---|
Enregistrement créé | 2009-09-10 |
---|
Enregistrement modifié | 2020-03-30 |
---|