Tailoring the microstructure and surface morphology of metal thin films for nano-electro-mechanical systems applications
Tailoring the microstructure and surface morphology of metal thin films for nano-electro-mechanical systems applications
| Format | Texte, Article |
|---|---|
| Date de publication | 2008 |
| Dans | |
| Publications évaluées par des pairs | Oui |
| Numéro du CNRC | 471 |
| Numéro NPARC | 8926526 |
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| Identificateur de l’enregistrement | d232f6ad-fd96-4b2f-a577-45572f37e740 |
| Enregistrement créé | 2009-04-23 |
| Enregistrement modifié | 2020-04-15 |
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