Experimental study of drilling sub-10 μm holes in thin metal foils with femtosecond laser pulses
Experimental study of drilling sub-10 μm holes in thin metal foils with femtosecond laser pulses
DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1016/S0169-4332(99)00331-1 |
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Affiliation |
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Format | Texte, Article |
Sujet | drilling; laser ablation; mathematical models; micromachining; pulsed laser applications; solid state lasers; ultrafast phenomena; laser parameters; metal foil |
Résumé | |
Date de publication | 1999-11-02 |
Dans | |
Langue | anglais |
Publications évaluées par des pairs | Oui |
Numéro NPARC | 21276188 |
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Identificateur de l’enregistrement | d909edcd-4fbc-406d-99a6-fdb0a347e3d1 |
Enregistrement créé | 2015-09-28 |
Enregistrement modifié | 2020-03-20 |
- Date de modification :