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Experimental study of drilling sub-10 μm holes in thin metal foils with femtosecond laser pulses

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1016/S0169-4332(99)00331-1
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 2; Rechercher : 2; Rechercher : 3; Rechercher : 2
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC
  2. Conseil national de recherches du Canada. Technologies de sécurité et de rupture
  3. Conseil national de recherches du Canada. Automobile et les transports de surface
FormatTexte, Article
Sujetdrilling; laser ablation; mathematical models; micromachining; pulsed laser applications; solid state lasers; ultrafast phenomena; laser parameters; metal foil
Résumé
Aluminum foils with thickness ranging from 1.5 to 50 μm, and W, Mo, Ti, Cu, Fe, Ag, Au, and Pb foils of 25 μm thickness have been drilled with femtosecond Ti:sapphire laser pulses centered at 800 nm. The influence of laser parameters and material properties on hole drilling processes at sub-10 μm scale has been examined. A simple model is shown to predict the ablation rate for a range of metals.
Date de publication
Dans
  • Applied Surface Science 152, nº 3 (2 novembre 1999) : 138–148.
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC21276188
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Identificateur de l’enregistrementd909edcd-4fbc-406d-99a6-fdb0a347e3d1
Enregistrement créé2015-09-28
Enregistrement modifié2020-03-20
Date de modification :