A 100-channel near-infrared SOI waveguide microspectrometer: Design and fabrication challenges

DOI	Trouver le DOI : https://doi.org/10.1117/12.573895
Auteur	Rechercher : Cheben, Pavel¹Identifiant ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4232-9130; Rechercher : Bogdanov, Alexei¹; Rechercher : Delâge, André¹; Rechercher : Janz, Siegfried¹; Rechercher : Lamontagne, Boris¹; Rechercher : Picard, M-J; Rechercher : Post, Edith¹; Rechercher : Xu, D-X
Affiliation	Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
Format	Texte, Article
Conférence	Photonics Asia, 2004, Beijing, China
Date de publication	2005-01-17
Dans	Optoelectronic Devices and Integration (17 janvier 2005).
Série	Proceedings of SPIE, nº 5644.
Langue	anglais
Publications évaluées par des pairs	Oui
Numéro NPARC	12346704
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Identificateur de l’enregistrement	e9b219e1-b487-40ed-9a22-3fd87b240e74
Enregistrement créé	2009-09-17
Enregistrement modifié	2023-06-22