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A new approach to imaging systems incorporating chemical amplification: Synthesis and preliminary evaluation of novel resists based on tertiary copolycarbonates

Par Conseil national de recherches du Canada

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FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
  • J.Imaging Sc. 30 (1986) : 59–64.
Langueanglais
Numéro du CNRCFRCHET1986A
Numéro NPARC9365403
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Identificateur de l’enregistrementfc0d2549-ac90-4d26-84f1-df172f7481d8
Enregistrement créé2009-07-10
Enregistrement modifié2020-03-17
Date de modification :