Thermal Leakage Improvement by Using a High-Work-Function Ni Electrode in High-k TiHfO Metal-Insulator-Metal Capacitors
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DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1149/1.2422874 |
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Affiliation |
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Format | Texte, Article |
Date de publication | 2007 |
Dans | |
Numéro NPARC | 12744039 |
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Identificateur de l’enregistrement | fee36cb4-aeee-4fa7-b31b-6696b5965f76 |
Enregistrement créé | 2009-10-27 |
Enregistrement modifié | 2020-05-10 |
- Date de modification :