| Téléchargement | - Voir le manuscrit accepté : Composition Modulation in High-k Hafnium Silicate Films (PDF, 907 Kio)
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| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1017/S1431927610059143 |
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| Auteur | Rechercher : Wu, X.1; Rechercher : Liu, J.; Rechercher : Lennard, W. N.; Rechercher : Landheer, D.1 |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
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| Format | Texte, Article |
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| Date de publication | 2010-08-05 |
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| Dans | |
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| Langue | anglais |
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| Publications évaluées par des pairs | Oui |
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| Numéro NPARC | 17161796 |
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| Exporter la notice | Exporter en format RIS |
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| Identificateur de l’enregistrement | 07b8207b-8006-49de-aa5b-01a543146155 |
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| Enregistrement créé | 2011-03-26 |
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| Enregistrement modifié | 2020-04-17 |
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