Performance improvement of CoTiO3 high-k dielectrics with nitrogen incorporation
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DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1149/1.2388733 |
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Format | Texte, Article |
Résumé | |
Date de publication | 2007 |
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Numéro NPARC | 12744501 |
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Identificateur de l’enregistrement | 0beeaddc-8e47-4561-a8e5-d82f2d0740fe |
Enregistrement créé | 2009-10-27 |
Enregistrement modifié | 2020-05-10 |
- Date de modification :