| Téléchargement | - Voir le manuscrit accepté : Robust phase-stepping interferometry for traceable length measurements in a Hilger-Watts gauge-block interferometer (PDF, 917 Kio)
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| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1088/1681-7575/ab63af |
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| Auteur | Rechercher : Leroux, Ian D.1; Rechercher : Eves, Brian J.1 |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches du Canada. Centre de recherche en métrologie
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| Format | Texte, Article |
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| Description physique | 8 p. |
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| Résumé | We demonstrate a simple adaptation of the venerable Hilger-Watts gauge-block interferometer capable of performing automated, traceable calibrations of gauge block length by phase-stepping interferometry (PSI). We discuss the selection of robust PSI filtering algorithms to counteract in software the flaws of the hardware implementation, including markedly nonsinusoidal fringes and inhomogeneous phase step size. We find that the length measurement errors attributable to the phase measurement can be reduced to 0.6 nm, even with a simple retrofit to an instrument not originally designed for PSI. |
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| Date de publication | 2020-03-19 |
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| Maison d’édition | IOP |
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| Dans | |
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| Langue | anglais |
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| Publications évaluées par des pairs | Oui |
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| Exporter la notice | Exporter en format RIS |
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| Identificateur de l’enregistrement | 12306cb6-5978-4556-afd3-0c99bfcc4b39 |
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| Enregistrement créé | 2020-02-26 |
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| Enregistrement modifié | 2021-10-14 |
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