Sélection de la langue

Gouvernement du Canada / Government of Canada

Recherche

Reactively sputtered silicon-oxynitride films and filters

Par Conseil national de recherches du Canada

AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Conférence49th Annual Technical Conference, Society of Vacuum Coaters, 22-27 April 2006, Washington, D.C., USA
Date de publication
Dans
  • SVC, Society of Vacuum Coaters : 49th annual technical conference proceedings (2006) : 725–727.
Langueanglais
Numéro NPARC12346737
Exporter la noticeExporter en format RIS
Signaler une correctionSignaler une correction (s'ouvre dans un nouvel onglet)
Identificateur de l’enregistrement142e7306-2231-4593-ad6d-8d7c15b8ab07
Enregistrement créé2009-09-17
Enregistrement modifié2020-04-22
Date de modification :