Dry etching of copper phthalocyanine thin films: Effects on morphology and surface stoichiometry

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.3390/molecules170910119
AuteurRechercher : ; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Technologies de sécurité et de rupture
FormatTexte, Article
Sujetcarbon; copper; indole derivative; nitrogen; organometallic compound; oxygen; phthalocyanine copper; chemistry; gas laser; surface property; X ray photoelectron spectroscopy; Carbon; Copper; Indoles; Lasers, Gas; Nitrogen; Organometallic Compounds; Oxygen; Photoelectron Spectroscopy; Surface Properties
Résumé
Date de publication
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC21270236
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Identificateur de l’enregistrement17073649-7a2b-4263-a47f-5fd633a21084
Enregistrement créé2014-01-15
Enregistrement modifié2020-04-21
Date de modification :