Electrical Characterization of metal-oxide-semiconductor capacitors with anodic and plasma-nitrided oxides

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1116/1.582250
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Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Numéro NPARC12744027
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Identificateur de l’enregistrement1a15a485-736b-4e96-84c8-7c8700b7cd1e
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2020-03-26
Date de modification :