Gadolinium silicate gate dielectric films with sub-1.5 nm equivalent oxide thickness

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1063/1.1356725
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Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
  2. Conseil national de recherches du Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC12744432
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Identificateur de l’enregistrement23cf2419-999e-4b8e-b9ae-1945a6df019b
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2023-05-10
Date de modification :