The effect of microstructure on the interrelationship of electrical, optical and opto-electronic properties in amorphous SixHy alloy films prepared by planar R.F. Magnetron Sputtering
The effect of microstructure on the interrelationship of electrical, optical and opto-electronic properties in amorphous SixHy alloy films prepared by planar R.F. Magnetron Sputtering
| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1016/0022-3093(85)90787-2 |
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| Format | Texte, Article |
| Date de publication | 1985 |
| Dans | |
| Langue | anglais |
| Numéro du CNRC | NRCC 24702 NRC-INMS-3496 |
| Numéro NPARC | 8897489 |
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| Identificateur de l’enregistrement | 2cb74e31-9a36-48e5-832a-eacbc4dd6479 |
| Enregistrement créé | 2009-04-22 |
| Enregistrement modifié | 2020-03-17 |
- Date de modification :