DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1016/j.sse.2004.05.033 |
---|
Auteur | Rechercher : Sheng, S. R.1; Rechercher : McAlister, S. P.1; Rechercher : McCaffrey, J. P.2; Rechercher : Kovacic, S. J. |
---|
Affiliation | - Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
- Conseil national de recherches du Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC
|
---|
Format | Texte, Article |
---|
Conférence | International Semiconductor Device Research Symposium 2003 (ISDRS '03), 10-12 December 2003, Washington, D.C., USA |
---|
Date de publication | 2004-07-08 |
---|
Dans | |
---|
Langue | anglais |
---|
Numéro du CNRC | NRC-INMS-784 |
---|
Numéro NPARC | 8899116 |
---|
Exporter la notice | Exporter en format RIS |
---|
Signaler une correction | Signaler une correction (s'ouvre dans un nouvel onglet) |
---|
Identificateur de l’enregistrement | 2ffbd289-4f54-421c-939c-dfbcba30b8d5 |
---|
Enregistrement créé | 2009-04-22 |
---|
Enregistrement modifié | 2020-04-17 |
---|