| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1109/INERTIAL53425.2022.9787524 |
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| Auteur | Rechercher : Hodges, Timothy1; Rechercher : Wu, Lixue1; Rechercher : Mu, Gengyang2; Rechercher : Snell, Nikaya2; Rechercher : Bouchard, Alexandre2; Rechercher : Stephan, Michel2; Rechercher : Huang, Huan2; Rechercher : Koukoulas, Triantafillos1; Rechercher : Green, Richard1; Rechercher : St-Gelais, Raphael2 |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches du Canada. Centre de recherche en métrologie
- University of Ottawa. Department of Mechanical Engineering
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| Format | Texte, Article |
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| Conférence | 2022 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL), May 8-11, 2022, Avignon, France |
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| Résumé | We report on the experimental characterization of a mass-loaded silicon nitride membrane-based resonator, which we investigate towards the development of accelerometers for small amplitude acceleration sensing at low frequencies. We experimentally demonstrate a ~1.1 ×10⁻⁶ kg proof mass system achieving a 17,950 mechanical quality factor for a 526 Hz natural resonance frequency, which compares favorably to other optically interrogated on-chip accelerometers. The inferred acceleration noise floor of the device is currently limited by the displacement noise of the optical fiber displacement readout, yielding a noise amplitude spectral density of 1μg/√Hz at 10 Hz. |
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| Date de publication | 2022-05-08 |
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| Maison d’édition | IEEE |
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| Langue | anglais |
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| Publications évaluées par des pairs | Oui |
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| Exporter la notice | Exporter en format RIS |
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| Identificateur de l’enregistrement | 327cca35-d274-4923-962f-787dfda64a7c |
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| Enregistrement créé | 2023-07-07 |
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| Enregistrement modifié | 2023-07-07 |
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