Influence of Hydrogen on the Solid Phase Epitaxial Regrowth of Strained Layer Silicon Germanium Alloys
Influence of Hydrogen on the Solid Phase Epitaxial Regrowth of Strained Layer Silicon Germanium Alloys
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Affiliation |
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Format | Texte, Article |
Conférence | Strained layer epitaxy : materials processing and device applications, San Francisco, California, USA, April 17-19, 1995 |
Date de publication | 1995 |
Dans | |
Série | |
Langue | anglais |
Numéro NPARC | 12339336 |
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Identificateur de l’enregistrement | 46b20147-c9e8-40c3-a1de-6fa8cdb86d61 |
Enregistrement créé | 2009-09-11 |
Enregistrement modifié | 2020-04-29 |
- Date de modification :