Sélection de la langue

Gouvernement du Canada / Government of Canada

Recherche

Control of the principal refractive indices in biaxial metal oxide films

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1364/JOSAA.28.001830
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut national de nanotechnologie
FormatTexte, Article
SujetColumnar thin films; Common materials; Deposition angle; Experimental characterization; Glancing Angle Deposition; In-plane birefringence; Metal oxide film; Metal oxides; Substrate rotation; Unified framework; Birefringence; Deposition; Light refraction; Metallic compounds; Refractive index; Refractometers; Oxide films
Résumé
We provide both an extensive experimental characterization and a model for metal oxide, slanted columnar thin films fabricated using glancing angle deposition. The model is applicable to slanted posts of any type, deposited at a constant deposition angle, with variable azimuthal substrate rotation. The model is capable of predicting the column tilt, principal refractive indices, and in-plane birefringence under a single unified framework, given knowledge of common material parameters. This paper also establishes a number of additional important results, including the occurrence of negative in-plane birefringence and the occurrence of uniaxial films with nonzero columnar tilt. © 2011 Optical Society of America.
Date de publication
Dans
  • Journal of the Optical Society of America A: Optics and Image Science, and Vision 28, nº 9 (1 septembre 2011) : 1830–1840.
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC21271927
Exporter la noticeExporter en format RIS
Signaler une correctionSignaler une correction (s'ouvre dans un nouvel onglet)
Identificateur de l’enregistrement56414aae-2121-448a-b494-5a445e00e397
Enregistrement créé2014-05-06
Enregistrement modifié2020-04-21
Date de modification :