Spatially controlled nano-structuring of silicon with femtosecond vortex pulses
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DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1038/s41598-020-69390-4 |
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Format | Texte, Article |
Sujet | laser material processing; optics and photonics |
Résumé | |
Date de publication | 2020-07-28 |
Maison d’édition | Nature Research |
Licence |
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Dans | |
Langue | anglais |
Publications évaluées par des pairs | Oui |
Publication du CNRC | Cette publication n’est pas du CNRCCe sont des publications qui ont été rédigées par un auteur du CNRC, mais avant que celui-ci soit employé du CNRC. |
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Identificateur de l’enregistrement | 571b4bd1-dd9b-45a4-b344-aa5e0a58dc43 |
Enregistrement créé | 2020-12-24 |
Enregistrement modifié | 2020-12-24 |
- Date de modification :