Hybrid bulk micro-machining process suitable for roughness reduction in optical MEMS devices
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DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1504/IJMTM.2006.009992 |
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Format | Texte, Article |
Date de publication | 2006 |
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Numéro NPARC | 12744074 |
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Identificateur de l’enregistrement | 623e99af-518c-4e14-8b3f-f7ac9933342e |
Enregistrement créé | 2009-10-27 |
Enregistrement modifié | 2020-04-22 |
- Date de modification :