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Plasma deposition of optical films and coatings: A review

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1116/1.1314395
AuteurRechercher : ; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
  • Journal of Vacuum Science & Technology A 18, nº 6 (2000) : 2619–2645.
Numéro NPARC12744247
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Identificateur de l’enregistrement6bde0369-6ceb-49ab-8d67-0186b4e0173b
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2020-03-26
Date de modification :