Thickness and density evaluation for nanostructured thin films by glancing angle deposition
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DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1116/1.2131079 |
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Affiliation |
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Format | Texte, Article |
Date de publication | 2005 |
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Numéro NPARC | 12743771 |
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Identificateur de l’enregistrement | 6e7de59d-2ce7-46cd-8ac4-431d83f19b90 |
Enregistrement créé | 2009-10-27 |
Enregistrement modifié | 2020-04-07 |
- Date de modification :