Sélection de la langue

Gouvernement du Canada / Government of Canada

Recherche

Improved High-Temperature Leakage in High-Density MIM Capacitors by Using a TiLaO Dielectric and an Ir Electrode

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1109/LED.2007.909612
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
  • IEEE Electron Device Letters 28, nº 12 (2007) : 1095–1097.
Numéro NPARC12744338
Exporter la noticeExporter en format RIS
Signaler une correctionSignaler une correction (s'ouvre dans un nouvel onglet)
Identificateur de l’enregistrement733bb21c-fb79-4b23-a4c7-e87b07188726
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2020-05-10
Date de modification :